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积跬步而至千里于精微处见真章
《华东科技》     发布时间:2020-01-16 10:28    

“在做技术的同时给自己定目标,比如每年能不能写出1到2篇可发表的文章、每个季度能不能写1到2个专利,坚定自己的步伐,逐步往前推进。”作为“科技创新在行动”的专访人物,华虹集团旗下上海华虹宏力半导体制造有限公司主管工程师刘张李博士在采访中道出了自己的创新“秘诀”。事实上也是凭着这种持续创新、聚焦细微处的精神,已是该公司技术研发部门青年骨干力量之一的刘张李收获满满:已发表专业论文10余篇,授权发明专利20余项,获评2012年中国科学院院长优秀奖,中国科学院2013年度优秀博士学位论文,并获评2018年上海市青年科技启明星。


功夫在精微处

如今,我们身边的手机、电脑、电视等各种电子设备越来越“迷你”,从之前的“大哥大”到现在仅仅几个硬币厚的时尚手机,从老式的矮胖电视到如今轻薄的液晶电视,都不离开飞速发展的集成电路,也就是我们熟知的“芯片”。自从1958年世界第一块集成电路问世以来,它的面积越来越小,集成的电路越来越多,性能却越来越强大。刘张李做的事情就是让那些在图纸上的设计变成一颗颗现实中的“芯片”。

刘张李师从我国离子束领域的奠基人、中国科学院院士邹世昌,于2012年获中国科学院上海微系统与信息技术研究所微电子学与固体电子学博士学位。作为华虹宏力和中国科学院微系统所联合培养博士研究生项目——浦东张江高科技园区第一批产学研合作博士培养基地和博士后工作站培养的优秀博士生,他出于对华虹宏力企业文化的认同,毕业后成为技术研发部门的一名工程师。如今,他在工艺模组集成、器件参数优化等方面积累了丰富的经验。刘张李告诉记者,制造这些我们耳熟能详的“芯片”,就相当于在微观世界里“造房子”—— 通过成百上千道工艺步骤,在硅片上制造出具有各种复杂功能的芯片。

回顾在华虹宏力的这七年时光,刘张李满怀感慨:“不管是写文章还是写专利,其实都不会是无源之水,它都是因为在工作中间遇到了问题,去解决时就会迸发出灵感,再将其中有用之处筛选、总结、归纳、提炼,最终形成文章。但我认为,相对而言文章却不是最主要的东西,其实我很享受解决问题的这一过程。”

刘张李的钻研精神并不难理解,事实上自加入华虹宏力以来,他投身于绝缘体上硅射频开关工艺平台的研究和开发,积极解决研发过程中碰到的技术难题,如针对器件特性参数进行优化、表征等。也正是因为在研发工作中勤于思考、勇于探索、不断总结,刘张李收获颇丰。


持续创新,永不止步

对于科技工作者而言,除了自身不懈的钻研精神与努力外,所选择的平台也尤为关键。刘张李就职的华虹宏力是华虹集团旗下一员,华虹集团是国家“909”工程的载体,是一个以集成电路制造为主业、面向全球市场、具有自主创新能力和市场竞争力的高科技产业集团。华虹宏力从首条8英寸集成电路生产线起步,目前在上海金桥和张江共有三条8英寸生产线(华虹一、二及三厂),月产能17.5万片。现在,华虹宏力的工艺技术已覆盖1微米至90纳米各节点,其嵌入式非易失性存储器、功率器件、模拟及电源管理和逻辑及射频等差异化工艺平台在全球业界极具竞争力,并拥有多年成功量产汽车电子芯片的经验。华虹宏力和国家集成电路产业投资基金股份有限公司、无锡锡虹联芯投资有限公司等在无锡高新技术产业开发区内,合资设立了华虹半导体(无锡)有限公司(华虹七厂),一期投资25亿美元,建设一条月产能4万片的12英寸集成电路生产线,支持5G和物联网等新兴领域的应用。

选择这样一家研发、生产实力强劲的企业,对刘张李而言更重要的是工作环境的高契合度。受益于上海微系统与信息技术研究所和华虹宏力的联合培养计划,结合实习期对华虹宏力有深刻的了解,刘张李毕业后选择了加入华虹宏力。在他看来,企业中的科研工作更加注重实际生产创造的效益,更贴近市场。选择加入华虹宏力这样一个重视和鼓励研发创新的企业,刘张李认为受益匪浅。

华虹宏力不仅建立了鼓励研发人员创作论文、积极参与专利申请的激励机制,还安排专职人员帮助研发人员参加相关的职称评审工作。2017年,刘张李获评高级工程师职称。这些重视创新的长效机制与有力举措和做法,令华虹宏力跻身2016年全国企业发明专利授权量前10名,是榜单中唯一的集成电路企业;2018年华虹宏力企业技术中心发明专利授权量位列上海市十强。这些都标志着华虹宏力的科技创新和知识产权工作迈上了更高的台阶。

如今,作为全球领先的特色工艺纯晶圆代工厂,华虹宏力研发队伍实力雄厚,研发投入力度突出,科技创新成果累累。华虹宏力建立了完善的知识产权战略体系,同时凭借对知识产权系统化和科学化的管理,在特色工艺领域占据了行业技术的领先地位。截至目前,华虹宏力累计申请专利达6200余件,拥有发明专利授权3300余件。这一成绩的获得离不开包括刘张李在内的研发人员的共同努力,更离不开华虹宏力对于科技创新和自主知识产权保护始终如一的追求。

展望未来,刘张李表示愿同华虹宏力一起成长,在科技创新的道路上继续阔步前行。



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2019年11月刊

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